Creatz3D、半導体装置向けアルミナ製リフトピン600セットを納入
シンガポールのCreatz3Dは、3DCERAM SINTOのセラミックAM技術で半導体製造装置向けアルミナ製リフトピン600セットを製造・納入した。6週間で工程を完了したと両社は発表している。
3D Printing Industryは2026年10月26日、Creatz3Dが大手半導体ファウンドリー向けに、3Dプリントした酸化アルミニウム（Al₂O₃）製リフトピン600セットを納入したと報じた。Creatz3Dと装置メーカー3DCERAM SINTOの発表に基づく案件で、顧客企業名は公表されていない。
リフトピンはCVD、PVD、ALD装置内でシリコンウエハーを持ち上げ、位置決めする部品。公開された寸法はピン部が直径約6.5 mm・高さ40 mm、基部が直径約20 mm・高さ4 mm。トップダウン式SLAで造形後、脱脂、焼結、機械仕上げを行い、全工程を6週間で完了したとしている。
両社は対象部品が顧客の量産認定を完了し、海外調達よりリードタイムを短縮したと説明する。ただし、認定試験の規格、寸法公差、不良率、従来工法との費用比較は公開されていない。トップダウン方式の安定性、支持材不要、均質性なども3DCERAM SINTO側の主張であり、独立した比較試験は示されていない。
要点
- 酸化アルミニウム製リフトピンを600セット納入したと発表。
- ピン部は直径約6.5 mm、高さ40 mm。
- 基部は直径約20 mm、高さ4 mm。
- 造形から後処理までの全工程は6週間とされる。
- 顧客名と認定試験条件は非公開。
補足
量産認定を伴う600セットの納入はセラミックAMの実用例だが、匿名顧客による企業発表であり、品質・コスト優位性を判断できる公開データは限られる。
